什么是四探針電阻率測試儀？

四探針電阻率測試儀也有很多種，例如高溫的或者常溫的，不同的四探針電阻率測試儀針對不同的材料測量的參數(shù)也是不同的。舉例，高溫四探針電阻率測試儀可以測量硅、鍺單晶電阻率和硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃和其他導電薄膜的方塊電阻，主要用于評估半導體薄膜和薄片的導電性能，高溫四探針電阻率測試儀就是，主要測量的參數(shù)就是半導體材料的電阻、電阻率、方塊電阻等。

本儀器本儀器采用四探針雙電測量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據(jù)測試結果自動轉換量程，無需人工多次和重復設。

采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結構合理、質量輕便，運輸安全、使用方便;選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表;本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.

雙電測數(shù)字四探針電阻率測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高度，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

參數(shù)資料

1.方塊電阻范圍：10-5～2×105Ω/□

2.電阻率范圍：10-5～2×106Ω-cm

3.測試電流范圍：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.1%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導率

7.測試方式: 雙電測量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<30W

9.整機不確定性誤差: ≤4%(標準樣片結果)

10.選購功能: 選購1.pc軟件;選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺

11.測試探頭： 探針間距選購：1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質選購：碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針

儀器具有測量范圍寬、精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、外形美觀、使用簡便等特點。

儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。

配套方案：解決各材料狀態(tài) --固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)、顆粒狀 電阻、電阻率、電導率測量

采用四端測量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，實驗室；是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的工具?？膳渲貌煌瑴y量裝置測試不同類型材料之電阻率。液晶顯示，溫度補償功能，自動量程，自動測量電阻，電阻率，電導率數(shù)據(jù)。恒流源輸出；選配：PC軟件過程數(shù)據(jù)處理和標準電阻校準儀器，薄膜按鍵操作簡單，中文或英文兩種語言界面選擇.

四端測試法是目前較*之測試方法，主要針對高精度要求之產(chǎn)品測試；本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。

四探針電阻測試儀由主機、選配的四探針探頭和測試臺等三部分組成。

主機主要由數(shù)控恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式單片機系統(tǒng)組成。自動/手動量程可選；電阻率、方阻、電阻測試類別快捷切換：儀器所有參數(shù)設定、功能轉換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入，簡便可靠；具有零位、滿度自校功能；測試結果由數(shù)字表頭直接顯示。